任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系，但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及高端儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要！市面上有各種檢漏儀器，最常見的載氣有氮氣、氫氣、氦氣等。氦氣檢漏大家想必都聽說過，那么氦氣檢漏是怎樣的呢？氦氣檢漏是如何操作的呢？ 

在設(shè)備和廠房當(dāng)中，常常有一些管道等連接的部位，這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺的細小孔洞，在使用時如果不注意就會導(dǎo)致泄露，從而造成事故。在這 些地方氦氣怎么檢漏？利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會向上垂直擴散，在被檢測的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點，那么我們就能通過監(jiān)測儀器探測到有氦氣在管道外部，這就是管道中氦氣檢漏的方法。

對于一些高精尖的細小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？將要檢測的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點，必然會有氦氣通過 這些小孔進入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測元件表面泄露的氦氣。看到這里大家得注意，氦氣的價格不菲，進行一次氦氣檢漏的費用自然不低。

氦氣怎么檢漏，氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進入那些不被肉眼察覺的孔縫中，利用監(jiān)測儀器就能探測到孔縫中泄露出的氦氣。檢測時首先探測到氦氣的 露點，得到氦氣的水含量，再利用色譜儀計算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。

常見的氦檢漏有四種氦檢方法：

1. 噴氦/噴槍法：真空測漏法是業(yè)內(nèi)經(jīng)常使用的一種檢漏方法, 廣泛應(yīng)用于精密儀器, 真空釬焊, 壓力容器等行業(yè)；

2. 吸槍法/正壓法：氦質(zhì)譜檢漏正壓吸槍法主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等；

3. 背壓法：背壓法氦質(zhì)譜檢測優(yōu)點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；

4.常壓吸槍累積法：常壓吸槍累積法廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域；